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반도체 : 1 , 2 차 모델링을 이용한 Ar RF 플라즈마의 응답 특성
반도체 : 1 , 2 차 모델링을 이용한 Ar RF 플라즈마의 응답 특성
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 서명/저자
- 반도체 : 1 , 2 차 모델링을 이용한 Ar RF 플라즈마의 응답 특성 / 박용섭(Yong Sup Park) , 정해덕(Hae Duck Chung) 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2001.
- 형태사항
- pp. 622-628
- 주기사항
- 참고문헌수록
- 기타저자
- 정해덕(Hae Duck Chung)
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60234929
MARC
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■773 ▼t전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic▼g제14권 제8호 (2001년 8월)▼d2001, 08
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