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반도체 : POU 슬러리 필터와 탈이온수의 고분사법에 의한 패드수명의 개선
반도체 : POU 슬러리 필터와 탈이온수의 고분사법에 의한 패드수명의 개선
Detailed Information
- Material Type
- 기사
- ISSN
- 12267945
- Author
- 박성우(Sung Woo Park)
- Title/Author
- 반도체 : POU 슬러리 필터와 탈이온수의 고분사법에 의한 패드수명의 개선 / 박성우(Sung Woo Park) ; 김상용(Sang Yong Kim) , 서용진(Yong Jin Seo) 공저
- Publish Info
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2001.
- Material Info
- pp. 707-713
- General Note
- 참고문헌수록
- Added Entry-Personal Name
- 김상용(Sang Yong Kim) , 서용진(Yong Jin Seo)
- Host Item Entry
- 전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic : 제14권 제9호 (2001년 9월) 2001, 09
- Electronic Location and Access
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60234906
MARC
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