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반도체 : 유도결합 플라즈마에 의한 (Ba,Sr)TiO3 박막의 식각 손상에 관한 연구
반도체 : 유도결합 플라즈마에 의한 (Ba,Sr)TiO3 박막의 식각 손상에 관한 연구
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 서명/저자
- 반도체 : 유도결합 플라즈마에 의한 (Ba,Sr)TiO3 박막의 식각 손상에 관한 연구 / 최성기(Sung Ki Choi) , 김창일(Chang Il Kim) , 장의구(Eui Goo Chang) 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2001.
- 형태사항
- pp. 785-791
- 주기사항
- 참고문헌수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60234891
MARC
008191010s2001 ulk aa kor■022 ▼a12267945
■1001 ▼a최성기(Sung Ki Choi)
■24510▼a반도체 : 유도결합 플라즈마에 의한 (Ba,Sr)TiO3 박막의 식각 손상에 관한 연구▼d최성기(Sung Ki Choi)▼e김창일(Chang Il Kim) , 장의구(Eui Goo Chang) 공저
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■500 ▼a참고문헌수록
■7001 ▼a김창일(Chang Il Kim) , 장의구(Eui Goo Chang)
■773 ▼t전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic▼g제14권 제10호 (2001년 10월)▼d2001, 10
■856 ▼uhttp://www.kieeme.or.kr
■SIS ▼aS014440▼b60055323▼h8▼s2▼fP
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