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반도체 : PMD ( Pre - Metal Dielectric ) 선형 질화막 공정의 최적화에 대한 연구
반도체 : PMD ( Pre - Metal Dielectric ) 선형 질화막 공정의 최적화에 대한 연구
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 서명/저자
- 반도체 : PMD ( Pre - Metal Dielectric ) 선형 질화막 공정의 최적화에 대한 연구 / 정소영(So Young Jeong) , 김상용(Sang Yong Kim) , 서용진(Yong Jin Seo) 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2001.
- 형태사항
- pp. 779-784
- 주기사항
- 참고문헌수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60234890
MARC
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