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센서 , 기능성박막 : Au / Ta2O5 / Pt MIM Capacitor 의 annealing 과 유전 특성
센서 , 기능성박막 : Au / Ta2O5 / Pt MIM Capacitor 의 annealing 과 유전 특성
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 저자명
- 김인성(In Sung Kim)
- 서명/저자
- 센서 , 기능성박막 : Au / Ta2O5 / Pt MIM Capacitor 의 annealing 과 유전 특성 / 김인성(In Sung Kim) , 정순종(Soon Jong Jeong) , 송재성(Jae Sung Song) , 윤문수(Moon Soo Yun) , 박정후(Chung Hoo Park) 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2001.
- 형태사항
- pp. 1016-1022
- 주기사항
- 참고문헌수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60234871
MARC
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