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비정질 Se75Ge25 박막의 Ga+ 소스를 사용한 FIB 입사에 따른 이온농도 분포에 관한 연구
비정질 Se75Ge25 박막의 Ga+ 소스를 사용한 FIB 입사에 따른 이온농도 분포에 관한 연구
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 저자명
- 임기주(Ki Joo Lim)
- 서명/저자
- 비정질 Se75Ge25 박막의 Ga+ 소스를 사용한 FIB 입사에 따른 이온농도 분포에 관한 연구 / 임기주(Ki Joo Lim) , 이현용(Hyun Yong Lee) , 정홍배(Hong Bay Chung) 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2000.
- 형태사항
- pp. 193-199
- 주기사항
- 참고문헌 수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60234820
MARC
008191008s2000 ulk aa kor■022 ▼a12267945
■1001 ▼a임기주(Ki Joo Lim)
■24510▼a비정질 Se75Ge25 박막의 Ga+ 소스를 사용한 FIB 입사에 따른 이온농도 분포에 관한 연구▼d임기주(Ki Joo Lim) ▼e이현용(Hyun Yong Lee) , 정홍배(Hong Bay Chung) 공저
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■500 ▼a참고문헌 수록
■7001 ▼a이현용(Hyun Yong Lee) , 정홍배(Hong Bay Chung)
■773 ▼t전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic▼g제13권 제3호 (2000년 3월)▼d2000, 03
■856 ▼uhttp://www.kieeme.or.kr
■SIS ▼aS014421▼b60055323▼h8▼s2▼fP
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