서브메뉴
검색
고밀도 플라즈마에 의한 PZT 박막의 식각특성 연구
고밀도 플라즈마에 의한 PZT 박막의 식각특성 연구
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 저자명
- 안태현(Tae Hyun An)
- 서명/저자
- 고밀도 플라즈마에 의한 PZT 박막의 식각특성 연구 / 안태현(Tae Hyun An) , 서용진(Yong Jin Seo) , 김창일(Chang Il Kim) , 장의구(Eui Goo Chang) 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2000.
- 형태사항
- pp. 188-192
- 주기사항
- 참고문헌 수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60234818
MARC
008191008s2000 ulk aa kor■022 ▼a12267945
■1001 ▼a안태현(Tae Hyun An)
■24510▼a고밀도 플라즈마에 의한 PZT 박막의 식각특성 연구▼d안태현(Tae Hyun An) ▼e서용진(Yong Jin Seo) , 김창일(Chang Il Kim) , 장의구(Eui Goo Chang) 공저
■260 ▼a서울▼b한국전기전자재료학회▼c2000.
■300 ▼app. 188-192
■500 ▼a참고문헌 수록
■7001 ▼a서용진(Yong Jin Seo) , 김창일(Chang Il Kim) , 장의구(Eui Goo Chang)
■773 ▼t전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic▼g제13권 제3호 (2000년 3월)▼d2000, 03
■856 ▼uhttp://www.kieeme.or.kr
■SIS ▼aS014421▼b60055323▼h8▼s2▼fP
Preview
Export
ChatGPT Discussion
AI Recommended Related Books
Info Détail de la recherche.
- Réservation
- n'existe pas
- My Folder
- Reference Materials for Thesis Writing
- Reference Materials for Research Ethics
- Job-Related Books
