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스퍼터링 방법으로 증착된 하층 NiFe 코어를 갖는 박막인덕터의 CMOS 집적화 공정
스퍼터링 방법으로 증착된 하층 NiFe 코어를 갖는 박막인덕터의 CMOS 집적화 공정
Detailed Information
- Material Type
- 기사
- ISSN
- 12267945
- Author
- 박일용 ( II Yong Park )
- Title/Author
- 스퍼터링 방법으로 증착된 하층 NiFe 코어를 갖는 박막인덕터의 CMOS 집적화 공정 / 박일용 ( II Yong Park ) ; 김상기 ( Sang Gi Kim ) , 구진근 ( Jin Gun Koo ) , 노태문 ( Tae Moon Roh ) , 이대우 ( Dae Woo Lee ) , 김종대 ( Jong Dae Kim ) 공저
- Publish Info
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2003.
- Material Info
- pp. 138-143
- General Note
- 참고문헌 수록
- Added Entry-Personal Name
- 김상기 ( Sang Gi Kim ) , 구진근 ( Jin Gun Koo ) , 노태문 ( Tae Moon Roh ) , 이대우 ( Dae Woo Lee ) , 김종대 ( Jong Dae Kim )
- Host Item Entry
- 전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic : 제16권 제2호 (2003년 2월) 2003, 02
- Electronic Location and Access
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60234799
MARC
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