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스퍼터링 방법으로 증착된 하층 NiFe 코어를 갖는 박막인덕터의 CMOS 집적화 공정
스퍼터링 방법으로 증착된 하층 NiFe 코어를 갖는 박막인덕터의 CMOS 집적화 공정
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 서명/저자
- 스퍼터링 방법으로 증착된 하층 NiFe 코어를 갖는 박막인덕터의 CMOS 집적화 공정 / 박일용 ( II Yong Park ) , 김상기 ( Sang Gi Kim ) , 구진근 ( Jin Gun Koo ) , 노태문 ( Tae Moon Roh ) , 이대우 ( Dae Woo Lee ) , 김종대 ( Jong Dae Kim ) 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2003.
- 형태사항
- pp. 138-143
- 주기사항
- 참고문헌 수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60234799
MARC
008191008s2003 ulk aa kor■022 ▼a12267945
■1001 ▼a박일용 ( II Yong Park )
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■7001 ▼a김상기 ( Sang Gi Kim ) , 구진근 ( Jin Gun Koo ) , 노태문 ( Tae Moon Roh ) , 이대우 ( Dae Woo Lee ) , 김종대 ( Jong Dae Kim )
■773 ▼t전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic▼g제16권 제2호 (2003년 2월)▼d2003, 02
■856 ▼uhttp://www.kieeme.or.kr
■SIS ▼aS014456▼b60055323▼h8▼s2▼fP
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