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구리 확산에 대한 Pt/Ti 및 Ni/Ti 확산 방지막 특성에 관한 연구
구리 확산에 대한 Pt/Ti 및 Ni/Ti 확산 방지막 특성에 관한 연구
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 서명/저자
- 구리 확산에 대한 Pt/Ti 및 Ni/Ti 확산 방지막 특성에 관한 연구 / 장성근 ( Sung Keun Chang ) 저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2003.
- 형태사항
- pp. 97-101
- 주기사항
- 참고문헌 수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60234785
MARC
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■856 ▼uhttp://www.kieeme.or.kr
■SIS ▼aS014456▼b60055323▼h8▼s2▼fP
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