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SION 박막 증착에 사용된 플라즈마에 대한 진단
SION 박막 증착에 사용된 플라즈마에 대한 진단
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 서명/저자
- SION 박막 증착에 사용된 플라즈마에 대한 진단 / 김기현 ( Ki Hyun Keem ) , 김현석 ( Hyun Suk Kim ) , 성만영 ( Man Young Sung ) , 김상식 ( Sang Sig Kim ) 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2003.
- 형태사항
- pp. 11-18
- 주기사항
- 참고문헌 수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60234744
MARC
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