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SION 박막 증착에 사용된 플라즈마에 대한 진단
SION 박막 증착에 사용된 플라즈마에 대한 진단
Detailed Information
- Material Type
- 기사
- ISSN
- 12267945
- Author
- 김기현 ( Ki Hyun Keem )
- Title/Author
- SION 박막 증착에 사용된 플라즈마에 대한 진단 / 김기현 ( Ki Hyun Keem ) ; 김현석 ( Hyun Suk Kim ) , 성만영 ( Man Young Sung ) , 김상식 ( Sang Sig Kim ) 공저
- Publish Info
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2003.
- Material Info
- pp. 11-18
- General Note
- 참고문헌 수록
- Added Entry-Personal Name
- 김현석 ( Hyun Suk Kim ) , 성만영 ( Man Young Sung ) , 김상식 ( Sang Sig Kim )
- Host Item Entry
- 전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic : 제16권 제1호 (2003년 1월) 2003, 01
- Electronic Location and Access
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60234744
MARC
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