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텅스텐 플러그 CVD 공정에서 SIH4 Soak의 영향
텅스텐 플러그 CVD 공정에서 SIH4 Soak의 영향
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 서명/저자
- 텅스텐 플러그 CVD 공정에서 SIH4 Soak의 영향 / 이우선 ( Woo Sun Lee ) , 서용진 ( Yong Jin Seo ) , 김상용 ( Sang Yong Kim ) , 박진성 ( Jin Seung Park ) 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2003.
- 형태사항
- pp. 1-4
- 주기사항
- 참고문헌 수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60234741
MARC
008191008s2003 ulk aa kor■022 ▼a12267945
■1001 ▼a이우선 ( Woo Sun Lee )
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■7001 ▼a서용진 ( Yong Jin Seo ) , 김상용 ( Sang Yong Kim ) , 박진성 ( Jin Seung Park )
■773 ▼t전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic▼g제16권 제1호 (2003년 1월)▼d2003, 01
■856 ▼uhttp://www.kieeme.or.kr
■SIS ▼aS014455▼b60055323▼h8▼s2▼fP
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