서브메뉴
검색
반도체 ; 유도결합 플라즈마를 이용한 PST 박막의 식각 특성
반도체 ; 유도결합 플라즈마를 이용한 PST 박막의 식각 특성
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 서명/저자
- 반도체 ; 유도결합 플라즈마를 이용한 PST 박막의 식각 특성 / 김관하 ( Gwan Ha Kim ) , 김경태 ( Kyoung Tae Kim ) , 김동표 ( Dong Pyo Kim ) , 김창일 ( Chang Il Kim ) 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2003.
- 형태사항
- pp. 286-291
- 주기사항
- 참고문헌수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60234739
MARC
008191008s2003 ulk aa kor■022 ▼a12267945
■1001 ▼a김관하 ( Gwan Ha Kim )
■24510▼a반도체 ; 유도결합 플라즈마를 이용한 PST 박막의 식각 특성▼d김관하 ( Gwan Ha Kim )▼e김경태 ( Kyoung Tae Kim ) , 김동표 ( Dong Pyo Kim ) , 김창일 ( Chang Il Kim ) 공저
■260 ▼a서울▼b한국전기전자재료학회▼c2003.
■300 ▼app. 286-291
■500 ▼a참고문헌수록
■7001 ▼a김경태 ( Kyoung Tae Kim ) , 김동표 ( Dong Pyo Kim ) , 김창일 ( Chang Il Kim )
■773 ▼t전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic▼g제16권 제4호 (2003년 4월)▼d2003, 04
■856 ▼uhttp://www.kieeme.or.kr
■SIS ▼aS014458▼b60055323▼h8▼s2▼fP
Preview
Export
ChatGPT Discussion
AI Recommended Related Books
Info Détail de la recherche.
- Réservation
- n'existe pas
- My Folder
- Reference Materials for Thesis Writing
- Reference Materials for Research Ethics
- Job-Related Books
