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반도체 ; CMOS 소자를 위한 NiSi의 Surface Damage 의존성
반도체 ; CMOS 소자를 위한 NiSi의 Surface Damage 의존성
Detailed Information
- Material Type
- 기사
- ISSN
- 12267945
- Author
- 지희환 ( Hee Hwan Ji )
- Title/Author
- 반도체 ; CMOS 소자를 위한 NiSi의 Surface Damage 의존성 / 지희환 ( Hee Hwan Ji ) ; 안순의 ( Soon Eui Ahn ) , 배미숙 ( Mi Suk Bae ) , 이헌진 ( Hun Jin Lee ) , 오순영 ( Soon Young Oh ) , 이희덕 ( Hi Deok Lee ) , 왕진석 ( Jin Suk Wang ) 공저
- Publish Info
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2003.
- Material Info
- pp. 280-285
- General Note
- 참고문헌수록
- Added Entry-Personal Name
- 안순의 ( Soon Eui Ahn ) , 배미숙 ( Mi Suk Bae ) , 이헌진 ( Hun Jin Lee ) , 오순영 ( Soon Young Oh ) , 이희덕 ( Hi Deok Lee ) , 왕진석 ( Jin Suk Wang )
- Host Item Entry
- 전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic : 제16권 제4호 (2003년 4월) 2003, 04
- Electronic Location and Access
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60234738
MARC
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