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반도체 ; CMOS 소자를 위한 NiSi의 Surface Damage 의존성
반도체 ; CMOS 소자를 위한 NiSi의 Surface Damage 의존성
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 서명/저자
- 반도체 ; CMOS 소자를 위한 NiSi의 Surface Damage 의존성 / 지희환 ( Hee Hwan Ji ) , 안순의 ( Soon Eui Ahn ) , 배미숙 ( Mi Suk Bae ) , 이헌진 ( Hun Jin Lee ) , 오순영 ( Soon Young Oh ) , 이희덕 ( Hi Deok Lee ) , 왕진석 ( Jin Suk Wang ) 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2003.
- 형태사항
- pp. 280-285
- 주기사항
- 참고문헌수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60234738
MARC
008191008s2003 ulk aa kor■022 ▼a12267945
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■856 ▼uhttp://www.kieeme.or.kr
■SIS ▼aS014458▼b60055323▼h8▼s2▼fP
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