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SOI 웨이퍼를 이용한 압전박막공진기 제작
SOI 웨이퍼를 이용한 압전박막공진기 제작
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 서명/저자
- SOI 웨이퍼를 이용한 압전박막공진기 제작 / 김인태 ( In Tae Kim ) , 박윤권 ( Yun Kwon Park ) , 이시형 ( Si Hyung Lee ) , 이윤희 ( Yun Hi Lee ) , 이전국 ( Jeon Kook Lee ) , 김남수 ( Nam Soo Kim ) , 주병권 ( Byeong Kwon Ju ) 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2002.
- 형태사항
- pp. 1039-1044
- 주기사항
- 참고문헌 수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60234715
MARC
008191008s2002 ulk aa kor■022 ▼a12267945
■1001 ▼a김인태 ( In Tae Kim )
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■856 ▼uhttp://www.kieeme.or.kr
■SIS ▼aS014454▼b60055323▼h8▼s2▼fP
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