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CF4/Gas Chemistry에 의해 식각된 Ru 박막의 표면 반응
CF4/Gas Chemistry에 의해 식각된 Ru 박막의 표면 반응
Detailed Information
- Material Type
- 기사
- ISSN
- 12267945
- Author
- 임규태 ( Kyu Tae Lim )
- Title/Author
- CF4/Gas Chemistry에 의해 식각된 Ru 박막의 표면 반응 / 임규태 ( Kyu Tae Lim ) ; 김동표 ( Dong Pyo Kim ) , 김경태 ( Kyoung Tae Kim ) , 김창일 ( Chang Il Kim ) , 최장현 ( Jang Hyun Choi ) , 송준태 ( Joon Tae Song ) 공저
- Publish Info
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2002.
- Material Info
- pp. 1016-1020
- General Note
- 참고문헌 수록
- Added Entry-Personal Name
- 김동표 ( Dong Pyo Kim ) , 김경태 ( Kyoung Tae Kim ) , 김창일 ( Chang Il Kim ) , 최장현 ( Jang Hyun Choi ) , 송준태 ( Joon Tae Song )
- Host Item Entry
- 전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic : 제15권 제12호 (2002년 12월) 2002, 12
- Electronic Location and Access
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60234707
MARC
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