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Cl2/Ar 유도 결합 플라즈마에 의한 gold 박막의 식각특성
Cl2/Ar 유도 결합 플라즈마에 의한 gold 박막의 식각특성
Detailed Information
- Material Type
- 기사
- ISSN
- 12267945
- Author
- 장윤성 ( Yun Seong Chang )
- Title/Author
- Cl2/Ar 유도 결합 플라즈마에 의한 gold 박막의 식각특성 / 장윤성 ( Yun Seong Chang ) ; 김동표 ( Dong Pyo Kim ) , 김창일 ( Chang Il Kim ) , 장의구 ( Eui Goo Chang ) , 이수재 ( Su Jae Lee ) 공저
- Publish Info
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2002.
- Material Info
- pp. 1011-1015
- General Note
- 참고문헌 수록
- Added Entry-Personal Name
- 김동표 ( Dong Pyo Kim ) , 김창일 ( Chang Il Kim ) , 장의구 ( Eui Goo Chang ) , 이수재 ( Su Jae Lee )
- Host Item Entry
- 전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic : 제15권 제12호 (2002년 12월) 2002, 12
- Electronic Location and Access
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60234706
MARC
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