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SDB와 전기화학적 식각정지에 의한 벌크 마이크로머신용 3차원 미세구조물 제작
SDB와 전기화학적 식각정지에 의한 벌크 마이크로머신용 3차원 미세구조물 제작
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 서명/저자
- SDB와 전기화학적 식각정지에 의한 벌크 마이크로머신용 3차원 미세구조물 제작 / 정귀상 ( Gwiy Sang Chung ) , 김재민 ( Jae Min Kim ) , 윤석진 ( Seok Jin Yoon ) 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2002.
- 형태사항
- pp. 958-962
- 주기사항
- 참고문헌 수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60234683
MARC
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