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SDB와 전기화학적 식각정지에 의한 벌크 마이크로머신용 3차원 미세구조물 제작
SDB와 전기화학적 식각정지에 의한 벌크 마이크로머신용 3차원 미세구조물 제작
Detailed Information
- Material Type
- 기사
- ISSN
- 12267945
- Author
- 정귀상 ( Gwiy Sang Chung )
- Title/Author
- SDB와 전기화학적 식각정지에 의한 벌크 마이크로머신용 3차원 미세구조물 제작 / 정귀상 ( Gwiy Sang Chung ) ; 김재민 ( Jae Min Kim ) , 윤석진 ( Seok Jin Yoon ) 공저
- Publish Info
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2002.
- Material Info
- pp. 958-962
- General Note
- 참고문헌 수록
- Added Entry-Personal Name
- 김재민 ( Jae Min Kim ) , 윤석진 ( Seok Jin Yoon )
- Host Item Entry
- 전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic : 제15권 제11호 (2002년 11월) 2002, 11
- Electronic Location and Access
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60234683
MARC
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