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수직형 Feed - through 갖는 RF - MEMS 소자의 웨이퍼 레벨 패키징
수직형 Feed - through 갖는 RF - MEMS 소자의 웨이퍼 레벨 패키징
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 서명/저자
- 수직형 Feed - through 갖는 RF - MEMS 소자의 웨이퍼 레벨 패키징 / 박윤권(Yun Kwon Park) , 이덕중(Duck Jung Lee) , 박흥우(Heung Woo Park) , 이윤희(Yun Hi Lee) , 김철주(Chul Ju Kim) , 주병권(Byeong Kwon Ju) , 김훈(Hoon Kim) 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2002.
- 형태사항
- pp. 889-895
- 주기사항
- 참고문헌 수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60234663
MARC
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