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실리카 슬러리의 희석과 연마제의 첨가가 CMP 특성에 미치는 영향
실리카 슬러리의 희석과 연마제의 첨가가 CMP 특성에 미치는 영향
Detailed Information
- Material Type
- 기사
- ISSN
- 12267945
- Author
- 박창준(Chang Jun Park)
- Title/Author
- 실리카 슬러리의 희석과 연마제의 첨가가 CMP 특성에 미치는 영향 / 박창준(Chang Jun Park) ; 김상용(Sang Yong Kim) , 서용진(Yong Jin Seo) 공저
- Publish Info
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2002.
- Material Info
- pp. 851-857
- General Note
- 참고문헌 수록
- Added Entry-Personal Name
- 김상용(Sang Yong Kim) , 서용진(Yong Jin Seo)
- Host Item Entry
- 전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic : 제15권 제10호 (2002년 10월) 2002, 10
- Electronic Location and Access
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60234651
MARC
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