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다양한 기울기를 갖는 TEOS 필드 산화막의 경사식각
다양한 기울기를 갖는 TEOS 필드 산화막의 경사식각
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 저자명
- 김상기(Sang Gi Kim)
- 서명/저자
- 다양한 기울기를 갖는 TEOS 필드 산화막의 경사식각 / 김상기(Sang Gi Kim) , 박일용(Il Yong Park) , 구진근(Jin Gun Koo) , 김종대(Jong Dae Kim) 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2002.
- 형태사항
- pp. 844-850
- 주기사항
- 참고문헌 수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60234648
MARC
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