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반도체 : 유도결합 CF4/Ar 플라즈마에 의한 Bi4-xLaxTi3O12 박막의 식각 표면 반응
반도체 : 유도결합 CF4/Ar 플라즈마에 의한 Bi4-xLaxTi3O12 박막의 식각 표면 반응
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 서명/저자
- 반도체 : 유도결합 CF4/Ar 플라즈마에 의한 Bi4-xLaxTi3O12 박막의 식각 표면 반응 / 김동표 ( Dong Pyo Kim ) , 김경태 ( Kyoung Tae Kim ) , 김창일 ( Chang II Kim ) 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2003.
- 형태사항
- pp. 378-384
- 주기사항
- 참고문헌수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60234642
MARC
008191008s2003 ulk aa kor■022 ▼a12267945
■1001 ▼a김동표 ( Dong Pyo Kim )
■24510▼a반도체 : 유도결합 CF4/Ar 플라즈마에 의한 Bi4-xLaxTi3O12 박막의 식각 표면 반응▼d김동표 ( Dong Pyo Kim )▼e김경태 ( Kyoung Tae Kim ) , 김창일 ( Chang II Kim ) 공저
■260 ▼a서울▼b한국전기전자재료학회▼c2003.
■300 ▼app. 378-384
■500 ▼a참고문헌수록
■7001 ▼a김경태 ( Kyoung Tae Kim ) , 김창일 ( Chang II Kim )
■773 ▼t전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic▼g제16권 제5호 (2003년 5월)▼d2003, 05
■856 ▼uhttp://www.kieeme.or.kr
■SIS ▼aS014459▼b60055323▼h8▼s2▼fP
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