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반도체 : RF 마그네트론 스퍼터링법으로 성장시킨 0.5% Ce-doped Ba(Zr0.2Ti0.8)O3 (BCZT) 박막의 열처리 특성분석
반도체 : RF 마그네트론 스퍼터링법으로 성장시킨 0.5% Ce-doped Ba(Zr0.2Ti0.8)O3 (BCZT) 박막의 열처리 특성분석
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 서명/저자
- 반도체 : RF 마그네트론 스퍼터링법으로 성장시킨 0.5% Ce-doped Ba(Zr0.2Ti0.8)O3 (BCZT) 박막의 열처리 특성분석 / 최원석 ( Won Seok Choi ) , 박용섭 ( Yang Seob Perk ) , 이준신 ( Jun Sin Yi ) , 홍병유 ( Byung You Hong ) 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2003.
- 형태사항
- pp. 361-364
- 주기사항
- 참고문헌수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60234635
MARC
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