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RF 마그네트론 스퍼터링에 의한 SAW 필터용 ZnO 압전 박막에 관한 연구
RF 마그네트론 스퍼터링에 의한 SAW 필터용 ZnO 압전 박막에 관한 연구
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 서명/저자
- RF 마그네트론 스퍼터링에 의한 SAW 필터용 ZnO 압전 박막에 관한 연구 / 최형욱(Hyung Wook Choi) , 김경환(Kyung Hwan Kim) , 김상종(Sang Jong Kim) , 강종윤(Chong Yun Chang) , 안병국(Byung Guk Ahn) , 윤석진(Seok Jin Yoon) 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2002.
- 형태사항
- pp. 798-807
- 주기사항
- 참고문헌 수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60234632
MARC
008191008s2002 ulk aa kor■022 ▼a12267945
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■773 ▼t전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic▼g제15권 제9호 (2002년 9월)▼d2002, 09
■856 ▼uhttp://www.kieeme.or.kr
■SIS ▼aS014451▼b60055323▼h8▼s2▼fP
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