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반도체 : Cl-based 플라즈마에 의한 YMnO3 박막의 식각 damage에 관한 연구
반도체 : Cl-based 플라즈마에 의한 YMnO3 박막의 식각 damage에 관한 연구
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 서명/저자
- 반도체 : Cl-based 플라즈마에 의한 YMnO3 박막의 식각 damage에 관한 연구 / 박재화 ( Jae Hwa Park ) , 김경태 ( Kyoung Tae Kim ) , 김동표 ( Dong Pyo Kim ) , 김창일 ( Chang Il Kim ) , 장의구 ( Eui Goo Chang ) 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2003.
- 형태사항
- pp. 449-453
- 주기사항
- 참고문헌수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60234569
MARC
008191008s2003 ulk aa kor■022 ▼a12267945
■1001 ▼a박재화 ( Jae Hwa Park )
■24510▼a반도체 : Cl-based 플라즈마에 의한 YMnO3 박막의 식각 damage에 관한 연구▼d박재화 ( Jae Hwa Park )▼e김경태 ( Kyoung Tae Kim ) , 김동표 ( Dong Pyo Kim ) , 김창일 ( Chang Il Kim ) , 장의구 ( Eui Goo Chang ) 공저
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■7001 ▼a김경태 ( Kyoung Tae Kim ) , 김동표 ( Dong Pyo Kim ) , 김창일 ( Chang Il Kim ) , 장의구 ( Eui Goo Chang )
■773 ▼t전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic▼g제16권 제6호 (2003년 6월)▼d2003, 06
■856 ▼uhttp://www.kieeme.or.kr
■SIS ▼aS014460▼b60055323▼h8▼s2▼fP
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