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논문 : 센서,기능성박막 ; Al2O3 기판위에 형성된 Ti-O 완충층을 가진 Ta/Ta2O5/Ta커패시터의 특성
논문 : 센서,기능성박막 ; Al2O3 기판위에 형성된 Ti-O 완충층을 가진 Ta/Ta2O5/Ta커패시터의 특성
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 서명/저자
- 논문 : 센서,기능성박막 ; Al2O3 기판위에 형성된 Ti-O 완충층을 가진 Ta/Ta2O5/Ta커패시터의 특성 / 김현주 ( Kim Hyeon Ju ) , 송재성 ( Song Jae Seong ) , 김인성 ( Kim In Seong ) , 김상수 ( Kim Sang Su ) 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2003.
- 형태사항
- pp. 807-811
- 주기사항
- 참고문헌수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60234539
MARC
008191008s2003 ulk aa kor■022 ▼a12267945
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■773 ▼t전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic▼g제16권 제9호 (2003년 9월)▼d2003, 09
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