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Buffer layer 의 표면 거칠기와 열처리조건이 GaN 에피층의 품질에 미치는 영향
Buffer layer 의 표면 거칠기와 열처리조건이 GaN 에피층의 품질에 미치는 영향
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 서명/저자
- Buffer layer 의 표면 거칠기와 열처리조건이 GaN 에피층의 품질에 미치는 영향 / 유충현(Choong Hyun Yoo) , 심형관(Hyuong Kwan Sim) , 강문성(Moon Sung Kang) 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2002.
- 형태사항
- pp. 564-569
- 주기사항
- 참고문헌 수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60234516
MARC
008191008s2002 ulk aa kor■022 ▼a12267945
■1001 ▼a유충현(Choong Hyun Yoo)
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■773 ▼t전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic▼g제15권 제7호 (2002년 7월)▼d2002, 07
■856 ▼uhttp://www.kieeme.or.kr
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