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고전압 방전 플라즈마에 의한 질화탄소 박막 증착 시 플라즈마 영역에 가한 레이저 애블레이션의 효과
고전압 방전 플라즈마에 의한 질화탄소 박막 증착 시 플라즈마 영역에 가한 레이저 애블레이션의 효과
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 저자명
- 김종일(Jong Il Kim)
- 서명/저자
- 고전압 방전 플라즈마에 의한 질화탄소 박막 증착 시 플라즈마 영역에 가한 레이저 애블레이션의 효과 / 김종일(Jong Il Kim) 저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2002.
- 형태사항
- pp. 551-557
- 주기사항
- 참고문헌 수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60234509
MARC
008191008s2002 ulk aa kor■022 ▼a12267945
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■773 ▼t전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic▼g제15권 제6호 (2002년 6월)▼d2002, 06
■856 ▼uhttp://www.kieeme.or.kr
■SIS ▼aS014448▼b60055323▼h8▼s2▼fP
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