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고전압 방전 플라즈마에 의한 질화탄소 박막 증착 시 플라즈마 영역에 가한 레이저 애블레이션의 효과
고전압 방전 플라즈마에 의한 질화탄소 박막 증착 시 플라즈마 영역에 가한 레이저 애블레이션의 효과
Detailed Information
- Material Type
- 기사
- ISSN
- 12267945
- Author
- 김종일(Jong Il Kim)
- Title/Author
- 고전압 방전 플라즈마에 의한 질화탄소 박막 증착 시 플라즈마 영역에 가한 레이저 애블레이션의 효과 / 김종일(Jong Il Kim) 저
- Publish Info
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2002.
- Material Info
- pp. 551-557
- General Note
- 참고문헌 수록
- Host Item Entry
- 전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic : 제15권 제6호 (2002년 6월) 2002, 06
- Electronic Location and Access
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60234509
MARC
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