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고전압 방전 플라즈마에 의한 질화탄소 박막 증착 시 플라즈마 영역에 가한 레이저 애블레이션의 효과
고전압 방전 플라즈마에 의한 질화탄소 박막 증착 시 플라즈마 영역에 가한 레이저 애블레이션의...
고전압 방전 플라즈마에 의한 질화탄소 박막 증착 시 플라즈마 영역에 가한 레이저 애블레이션의 효과

Detailed Information

Material Type  
 기사
ISSN  
12267945
Author  
김종일(Jong Il Kim)
Title/Author  
고전압 방전 플라즈마에 의한 질화탄소 박막 증착 시 플라즈마 영역에 가한 레이저 애블레이션의 효과 / 김종일(Jong Il Kim) 저
Publish Info  
서울 : 한국전기전자재료학회, 2002.
Material Info  
pp. 551-557
General Note  
참고문헌 수록
Host Item Entry  
전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic : 제15권 제6호 (2002년 6월) 2002, 06
Electronic Location and Access  
 url
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
kjul:60234509

MARC

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