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비열플라즈마를 이용한 CF4 분해에 미치는 혼합가스의 영향
비열플라즈마를 이용한 CF4 분해에 미치는 혼합가스의 영향
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 서명/저자
- 비열플라즈마를 이용한 CF4 분해에 미치는 혼합가스의 영향 / 박재윤(Jae Yoon Park) , 정장근(Jang Gun Jung) , 김종석(Jong Seck Kim) , 김광수(Kwang Soo Kim) , 임근희(Keun Hee Lim) 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2002.
- 형태사항
- pp. 543-550
- 주기사항
- 참고문헌 수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60234508
MARC
008191008s2002 ulk aa kor■022 ▼a12267945
■1001 ▼a박재윤(Jae Yoon Park)
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■773 ▼t전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic▼g제15권 제6호 (2002년 6월)▼d2002, 06
■856 ▼uhttp://www.kieeme.or.kr
■SIS ▼aS014448▼b60055323▼h8▼s2▼fP
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