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비열플라즈마를 이용한 CF4 분해에 미치는 혼합가스의 영향
비열플라즈마를 이용한 CF4 분해에 미치는 혼합가스의 영향
Detailed Information
- Material Type
- 기사
- ISSN
- 12267945
- Author
- 박재윤(Jae Yoon Park)
- Title/Author
- 비열플라즈마를 이용한 CF4 분해에 미치는 혼합가스의 영향 / 박재윤(Jae Yoon Park) ; 정장근(Jang Gun Jung) , 김종석(Jong Seck Kim) , 김광수(Kwang Soo Kim) , 임근희(Keun Hee Lim) 공저
- Publish Info
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2002.
- Material Info
- pp. 543-550
- General Note
- 참고문헌 수록
- Added Entry-Personal Name
- 정장근(Jang Gun Jung) , 김종석(Jong Seck Kim) , 김광수(Kwang Soo Kim) , 임근희(Keun Hee Lim)
- Host Item Entry
- 전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic : 제15권 제6호 (2002년 6월) 2002, 06
- Electronic Location and Access
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60234508
MARC
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