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논문 : 반도체 ; 열처리 방법에 따른 이종절연층 실리콘 기판쌍의 직접접합
논문 : 반도체 ; 열처리 방법에 따른 이종절연층 실리콘 기판쌍의 직접접합
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 서명/저자
- 논문 : 반도체 ; 열처리 방법에 따른 이종절연층 실리콘 기판쌍의 직접접합 / 송오성 ( Song O Seong ) , 이기영 ( Lee Gi Yeong ) 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2003.
- 형태사항
- pp. 859-864
- 주기사항
- 참고문헌수록
- 기타저자
- 이기영 ( Lee Gi Yeong )
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60234474
MARC
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■773 ▼t전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic▼g제16권 제10호 (2003년 10월)▼d2003, 10
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