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논문 : 반도체 ; 열처리 방법에 따른 이종절연층 실리콘 기판쌍의 직접접합
논문 : 반도체 ; 열처리 방법에 따른 이종절연층 실리콘 기판쌍의 직접접합
Detailed Information
- Material Type
- 기사
- ISSN
- 12267945
- Author
- 송오성 ( Song O Seong )
- Title/Author
- 논문 : 반도체 ; 열처리 방법에 따른 이종절연층 실리콘 기판쌍의 직접접합 / 송오성 ( Song O Seong ) ; 이기영 ( Lee Gi Yeong ) 공저
- Publish Info
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2003.
- Material Info
- pp. 859-864
- General Note
- 참고문헌수록
- Added Entry-Personal Name
- 이기영 ( Lee Gi Yeong )
- Host Item Entry
- 전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic : 제16권 제10호 (2003년 10월) 2003, 10
- Electronic Location and Access
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60234474
MARC
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