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CF4 / O2 gas 플라즈마를 이용한 폴리이미드 박막의 식각
CF4 / O2 gas 플라즈마를 이용한 폴리이미드 박막의 식각
Detailed Information
- Material Type
- 기사
- ISSN
- 12267945
- Author
- 강필승(Pil Seung Kang)
- Title/Author
- CF4 / O2 gas 플라즈마를 이용한 폴리이미드 박막의 식각 / 강필승(Pil Seung Kang) ; 김창일(Chang Il Kim) , 김상기(Sang Gi Kim) 공저
- Publish Info
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2002.
- Material Info
- pp. 393-397
- General Note
- 참고문헌 수록
- Added Entry-Personal Name
- 김창일(Chang Il Kim) , 김상기(Sang Gi Kim)
- Host Item Entry
- 전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic : 제15권 제5호 (2002년 5월) 2002, 05
- Electronic Location and Access
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60234446
MARC
008191008s2002 ulk aa kor■022 ▼a12267945
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