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CI2/CF4 플라즈마에 Ar , O2 첨가에 따른 PZT 박막의 식각 손상 개선 효과
CI2/CF4 플라즈마에 Ar , O2 첨가에 따른 PZT 박막의 식각 손상 개선 효과
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 서명/저자
- CI2/CF4 플라즈마에 Ar , O2 첨가에 따른 PZT 박막의 식각 손상 개선 효과 / 김경태(Kyoung Tae Kim) , 김창일(Chang Il Kim) , 강명구(Myoung Gu Kang) 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2002.
- 형태사항
- pp. 319-324
- 주기사항
- 참고문헌 수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60234424
MARC
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