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센서,기능성박막 : 기판과 성장조건에 따른 질화탄소막의 결정성장 특성
센서,기능성박막 : 기판과 성장조건에 따른 질화탄소막의 결정성장 특성
Detailed Information
- Material Type
- 기사
- ISSN
- 12267945
- Author
- 이지공 ( Lee Ji Gong )
- Title/Author
- 센서,기능성박막 : 기판과 성장조건에 따른 질화탄소막의 결정성장 특성 / 이지공 ( Lee Ji Gong ) ; 이성필 ( Lee Seong Pil ) 공저
- Publish Info
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2003.
- Material Info
- pp. 1103-1109
- General Note
- 참고문헌수록
- Added Entry-Personal Name
- 이성필 ( Lee Seong Pil )
- Host Item Entry
- 전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic : 제16권 제12호 (2003년 12월) 2003, 12
- Electronic Location and Access
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60234421
MARC
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