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센서,기능성박막 : 기판과 성장조건에 따른 질화탄소막의 결정성장 특성
센서,기능성박막 : 기판과 성장조건에 따른 질화탄소막의 결정성장 특성
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 서명/저자
- 센서,기능성박막 : 기판과 성장조건에 따른 질화탄소막의 결정성장 특성 / 이지공 ( Lee Ji Gong ) , 이성필 ( Lee Seong Pil ) 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2003.
- 형태사항
- pp. 1103-1109
- 주기사항
- 참고문헌수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60234421
MARC
008191008s2003 ulk aa kor■022 ▼a12267945
■1001 ▼a이지공 ( Lee Ji Gong )
■24510▼a센서,기능성박막 : 기판과 성장조건에 따른 질화탄소막의 결정성장 특성▼d이지공 ( Lee Ji Gong )▼e이성필 ( Lee Seong Pil ) 공저
■260 ▼a서울▼b한국전기전자재료학회▼c2003.
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■500 ▼a참고문헌수록
■7001 ▼a이성필 ( Lee Seong Pil )
■773 ▼t전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic▼g제16권 제12호 (2003년 12월)▼d2003, 12
■856 ▼uhttp://www.kieeme.or.kr
■SIS ▼aS014466▼b60055323▼h8▼s2▼fP
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