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선형가열기를 이용한 Si∥SiO2/Si3N4∥Si 이종기판쌍의 직접접합
선형가열기를 이용한 Si∥SiO2/Si3N4∥Si 이종기판쌍의 직접접합
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 서명/저자
- 선형가열기를 이용한 Si∥SiO2/Si3N4∥Si 이종기판쌍의 직접접합 / 이상현(Sang Hyun Lee) , 이상돈(Sang Don Yi) , 송오성(Oh Sung Song) 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2002.
- 형태사항
- pp. 301-307
- 주기사항
- 참고문헌 수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60234416
MARC
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■7001 ▼a이상돈(Sang Don Yi) , 송오성(Oh Sung Song)
■773 ▼t전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic▼g제15권 제4호 (2002년 4월)▼d2002, 04
■856 ▼uhttp://www.kieeme.or.kr
■SIS ▼aS014446▼b60055323▼h8▼s2▼fP
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