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실리콘에 붕소의 고에너지 이온주입에 의한 농도분포에 관한 연구
실리콘에 붕소의 고에너지 이온주입에 의한 농도분포에 관한 연구
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 서명/저자
- 실리콘에 붕소의 고에너지 이온주입에 의한 농도분포에 관한 연구 / 정원채(Won Chae Jung) 저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2002.
- 형태사항
- pp. 289-300
- 주기사항
- 참고문헌 수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60234414
MARC
008191008s2002 ulk aa kor■022 ▼a12267945
■1001 ▼a정원채(Won Chae Jung)
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■500 ▼a참고문헌 수록
■773 ▼t전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic▼g제15권 제4호 (2002년 4월)▼d2002, 04
■856 ▼uhttp://www.kieeme.or.kr
■SIS ▼aS014446▼b60055323▼h8▼s2▼fP
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