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질화탄소 박막 증착 시 고전압 방전 플라즈마에 가한 자장의 영향
질화탄소 박막 증착 시 고전압 방전 플라즈마에 가한 자장의 영향
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 저자명
- 김종일(Jong Il Kim)
- 서명/저자
- 질화탄소 박막 증착 시 고전압 방전 플라즈마에 가한 자장의 영향 / 김종일(Jong Il Kim) , 배선기(Seon Gi Bae) 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2002.
- 형태사항
- pp. 184-189
- 주기사항
- 참고문헌 수록
- 기타저자
- 배선기(Seon Gi Bae)
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60234385
MARC
008191008s2002 ulk aa kor■022 ▼a12267945
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■24510▼a질화탄소 박막 증착 시 고전압 방전 플라즈마에 가한 자장의 영향▼d김종일(Jong Il Kim) ▼e배선기(Seon Gi Bae) 공저
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■500 ▼a참고문헌 수록
■7001 ▼a배선기(Seon Gi Bae)
■773 ▼t전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic▼g제15권 제2호 (2002년 2월)▼d2002, 02
■856 ▼uhttp://www.kieeme.or.kr
■SIS ▼aS014444▼b60055323▼h8▼s2▼fP
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