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논문 : 센서,기능성박막 ; Ultra Thin 실리콘 웨이퍼를 이용한 RF-MEMS 소자의 웨이퍼 레벨 패키징
논문 : 센서,기능성박막 ; Ultra Thin 실리콘 웨이퍼를 이용한 RF-MEMS 소자의 웨이퍼 레벨 패키징
Detailed Information
- Material Type
- 기사
- ISSN
- 12267945
- Author
- 김용국 ( Kim Yong Gug )
- Title/Author
- 논문 : 센서,기능성박막 ; Ultra Thin 실리콘 웨이퍼를 이용한 RF-MEMS 소자의 웨이퍼 레벨 패키징 / 김용국 ( Kim Yong Gug ) ; 박윤권 ( Park Yun Gwon ) , 김재경 ( Kim Jae Gyeong ) , 주병권 ( Ju Byeong Gwon ) 공저
- Publish Info
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2003.
- Material Info
- pp. 1237-1241
- General Note
- 참고문헌수록
- Added Entry-Personal Name
- 박윤권 ( Park Yun Gwon ) , 김재경 ( Kim Jae Gyeong ) , 주병권 ( Ju Byeong Gwon )
- Host Item Entry
- 전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic : 제16권 제12S호 (2003년 12월) 2003, 12
- Electronic Location and Access
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60234377
MARC
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