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논문 : 센서,기능성박막 ; Ultra Thin 실리콘 웨이퍼를 이용한 RF-MEMS 소자의 웨이퍼 레벨 패키징
논문 : 센서,기능성박막 ; Ultra Thin 실리콘 웨이퍼를 이용한 RF-MEMS 소자의 웨이퍼 레벨 패키징
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 서명/저자
- 논문 : 센서,기능성박막 ; Ultra Thin 실리콘 웨이퍼를 이용한 RF-MEMS 소자의 웨이퍼 레벨 패키징 / 김용국 ( Kim Yong Gug ) , 박윤권 ( Park Yun Gwon ) , 김재경 ( Kim Jae Gyeong ) , 주병권 ( Ju Byeong Gwon ) 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2003.
- 형태사항
- pp. 1237-1241
- 주기사항
- 참고문헌수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60234377
MARC
008191008s2003 ulk aa kor■022 ▼a12267945
■1001 ▼a김용국 ( Kim Yong Gug )
■24510▼a논문 : 센서,기능성박막 ; Ultra Thin 실리콘 웨이퍼를 이용한 RF-MEMS 소자의 웨이퍼 레벨 패키징▼d김용국 ( Kim Yong Gug )▼e박윤권 ( Park Yun Gwon ) , 김재경 ( Kim Jae Gyeong ) , 주병권 ( Ju Byeong Gwon ) 공저
■260 ▼a서울▼b한국전기전자재료학회▼c2003.
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■500 ▼a참고문헌수록
■7001 ▼a박윤권 ( Park Yun Gwon ) , 김재경 ( Kim Jae Gyeong ) , 주병권 ( Ju Byeong Gwon )
■773 ▼t전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic▼g제16권 제12S호 (2003년 12월)▼d2003, 12
■856 ▼uhttp://www.kieeme.or.kr
■SIS ▼aS014467▼b60055323▼h8▼s2▼fP
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