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논문 : 센서,기능성박막 ; Ultra Thin 실리콘 웨이퍼를 이용한 RF-MEMS 소자의 웨이퍼 레벨 패키징
논문 : 센서,기능성박막 ; Ultra Thin 실리콘 웨이퍼를 이용한 RF-MEMS 소자의 웨이퍼 레벨 패키...
논문 : 센서,기능성박막 ; Ultra Thin 실리콘 웨이퍼를 이용한 RF-MEMS 소자의 웨이퍼 레벨 패키징

Detailed Information

자료유형  
 기사
ISSN  
12267945
저자명  
김용국 ( Kim Yong Gug )
서명/저자  
논문 : 센서,기능성박막 ; Ultra Thin 실리콘 웨이퍼를 이용한 RF-MEMS 소자의 웨이퍼 레벨 패키징 / 김용국 ( Kim Yong Gug ) , 박윤권 ( Park Yun Gwon ) , 김재경 ( Kim Jae Gyeong ) , 주병권 ( Ju Byeong Gwon ) 공저
발행사항  
서울 : 한국전기전자재료학회, 2003.
형태사항  
pp. 1237-1241
주기사항  
참고문헌수록
기타저자  
박윤권 ( Park Yun Gwon ) , 김재경 ( Kim Jae Gyeong ) , 주병권 ( Ju Byeong Gwon )
기본자료저록  
전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic : 제16권 제12S호 (2003년 12월) 2003, 12
원문정보  
 url
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
kjul:60234377

MARC

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