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반응성 스퍼터링으로 성장된 결정성 질화탄소막의 기계적 특성
반응성 스퍼터링으로 성장된 결정성 질화탄소막의 기계적 특성
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 서명/저자
- 반응성 스퍼터링으로 성장된 결정성 질화탄소막의 기계적 특성 / 이성필(Sung Pil Lee) , 강종봉(Jong Bong Kang) 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2002.
- 형태사항
- pp. 147-152
- 주기사항
- 참고문헌 수록
- 기타저자
- 강종봉(Jong Bong Kang)
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60234374
MARC
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