서브메뉴
검색
논문 : 반도체 ; 혼합 산화제가 W-CMP 특성에 미치는 영향
논문 : 반도체 ; 혼합 산화제가 W-CMP 특성에 미치는 영향
Detailed Information
- Material Type
- 기사
- ISSN
- 12267945
- Author
- 박창준 ( Park Chang Jun )
- Title/Author
- 논문 : 반도체 ; 혼합 산화제가 W-CMP 특성에 미치는 영향 / 박창준 ( Park Chang Jun ) ; 서용진 ( Seo Yong Jin ) , 김상용 ( Kim Sang Yong ) , 이우선 ( Lee U Seon ) 공저
- Publish Info
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2003.
- Material Info
- pp. 1181-1186
- General Note
- 참고문헌수록
- Added Entry-Personal Name
- 서용진 ( Seo Yong Jin ) , 김상용 ( Kim Sang Yong ) , 이우선 ( Lee U Seon )
- Host Item Entry
- 전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic : 제16권 제12S호 (2003년 12월) 2003, 12
- Electronic Location and Access
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60234354
MARC
008191008s2003 ulk aa kor■022 ▼a12267945
■1001 ▼a박창준 ( Park Chang Jun )
■24510▼a논문 : 반도체 ; 혼합 산화제가 W-CMP 특성에 미치는 영향▼d박창준 ( Park Chang Jun )▼e서용진 ( Seo Yong Jin ) , 김상용 ( Kim Sang Yong ) , 이우선 ( Lee U Seon ) 공저
■260 ▼a서울▼b한국전기전자재료학회▼c2003.
■300 ▼app. 1181-1186
■500 ▼a참고문헌수록
■7001 ▼a서용진 ( Seo Yong Jin ) , 김상용 ( Kim Sang Yong ) , 이우선 ( Lee U Seon )
■773 ▼t전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic▼g제16권 제12S호 (2003년 12월)▼d2003, 12
■856 ▼uhttp://www.kieeme.or.kr
■SIS ▼aS014467▼b60055323▼h8▼s2▼fP
Preview
Export
ChatGPT Discussion
AI Recommended Related Books
Detail Info.
- Reservation
- Not Exist
- My Folder
- Reference Materials for Thesis Writing
- Reference Materials for Research Ethics
- Job-Related Books
