서브메뉴
검색
논문 : 반도체 ; 혼합 산화제가 W-CMP 특성에 미치는 영향
논문 : 반도체 ; 혼합 산화제가 W-CMP 특성에 미치는 영향
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 서명/저자
- 논문 : 반도체 ; 혼합 산화제가 W-CMP 특성에 미치는 영향 / 박창준 ( Park Chang Jun ) , 서용진 ( Seo Yong Jin ) , 김상용 ( Kim Sang Yong ) , 이우선 ( Lee U Seon ) 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2003.
- 형태사항
- pp. 1181-1186
- 주기사항
- 참고문헌수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60234354
MARC
008191008s2003 ulk aa kor■022 ▼a12267945
■1001 ▼a박창준 ( Park Chang Jun )
■24510▼a논문 : 반도체 ; 혼합 산화제가 W-CMP 특성에 미치는 영향▼d박창준 ( Park Chang Jun )▼e서용진 ( Seo Yong Jin ) , 김상용 ( Kim Sang Yong ) , 이우선 ( Lee U Seon ) 공저
■260 ▼a서울▼b한국전기전자재료학회▼c2003.
■300 ▼app. 1181-1186
■500 ▼a참고문헌수록
■7001 ▼a서용진 ( Seo Yong Jin ) , 김상용 ( Kim Sang Yong ) , 이우선 ( Lee U Seon )
■773 ▼t전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic▼g제16권 제12S호 (2003년 12월)▼d2003, 12
■856 ▼uhttp://www.kieeme.or.kr
■SIS ▼aS014467▼b60055323▼h8▼s2▼fP
Preview
Export
ChatGPT Discussion
AI Recommended Related Books
Info Détail de la recherche.
- Réservation
- n'existe pas
- My Folder
- Reference Materials for Thesis Writing
- Reference Materials for Research Ethics
- Job-Related Books
