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Via Contact 형성을 위한 산화막 식각공정의 신경망 모델
Via Contact 형성을 위한 산화막 식각공정의 신경망 모델
Detailed Information
- Material Type
- 기사
- ISSN
- 12267945
- Author
- 박종문(Jong Moon Park)
- Title/Author
- Via Contact 형성을 위한 산화막 식각공정의 신경망 모델 / 박종문(Jong Moon Park) ; 권성구(Sung Ku Kwon) , 박건식(Gun Sik Park) , 유성욱(Seong Wook Yoo) , 배윤규(Yoon Kyu Bae) , 김병환(Byung Whan Kim) , 권광호(Kwang Ho Kwon) 공저
- Publish Info
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2002.
- Material Info
- pp. 7-14
- General Note
- 참고문헌 수록
- Added Entry-Personal Name
- 권성구(Sung Ku Kwon) , 박건식(Gun Sik Park) , 유성욱(Seong Wook Yoo) , 배윤규(Yoon Kyu Bae) , 김병환(Byung Whan Kim) , 권광호(Kwang Ho Kwon)
- Host Item Entry
- 전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic : 제15권 제1호 (2002년 1월) 2002, 01
- Electronic Location and Access
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60234345
MARC
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