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Via Contact 형성을 위한 산화막 식각공정의 신경망 모델
Via Contact 형성을 위한 산화막 식각공정의 신경망 모델
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 서명/저자
- Via Contact 형성을 위한 산화막 식각공정의 신경망 모델 / 박종문(Jong Moon Park) , 권성구(Sung Ku Kwon) , 박건식(Gun Sik Park) , 유성욱(Seong Wook Yoo) , 배윤규(Yoon Kyu Bae) , 김병환(Byung Whan Kim) , 권광호(Kwang Ho Kwon) 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2002.
- 형태사항
- pp. 7-14
- 주기사항
- 참고문헌 수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60234345
MARC
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